學(xué)術(shù)講座

微納加工中的薄膜表征及測(cè)量設(shè)備簡(jiǎn)介

演講人：馬續(xù)航

時(shí)間：2023年10月12日 16:15

地點(diǎn)：檢測(cè)中心樓M101會(huì)議室

內(nèi)容：主要介紹微納加工中常見的薄膜厚度的各種表征方式及測(cè)量，以及薄膜光學(xué)特性、力學(xué)特性的測(cè)量及表征介紹。

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