全球EFEM/Wafer Sorter供應(yīng)商列表

這個只是一個整機供應(yīng)商的列表，而EFEM是一個由多個部件模組構(gòu)成的系統(tǒng)，有些供應(yīng)商能夠完整提供這些部件產(chǎn)品，而有些只是外購后做系統(tǒng)整合這些部件模組（Robot、Wafer Aligner、Load Port...）的市場和供應(yīng)鏈也非常值得了解和研究。所以，這次我再進一步整理和發(fā)布這一塊的供應(yīng)商列表，供大家參考這次我先發(fā)布一個晶圓搬送Robot的供應(yīng)商數(shù)據(jù)按照一般分類，Robot大體分真空環(huán)境和大氣環(huán)境，而真空環(huán)境里一般有Direct Driver和磁流體兩種不同技術(shù)路徑多數(shù)供應(yīng)商的產(chǎn)品我都按照這個模式分了類，但有些由于沒有拿到詳細信息，只能籠統(tǒng)打勾了我目前一共收集到了49家供應(yīng)商信息（看來這個市場也不小），其中中國大陸的16家，約占三分之一

Robot的應(yīng)用領(lǐng)域很多，在面板等其它行業(yè)也被普遍采用。我盡量加以區(qū)別，在這個表格里只收錄晶圓搬送的Robot產(chǎn)品麻煩大家在參考之余，也幫我確認補充。有任何建議，請留言。謝謝了