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晶盛機電：首臺12英寸硬軸直拉爐成功生長出12英寸硅單晶

2021/07/22
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7月20日，晶盛機電晶體實驗室自主研發(fā)的國內(nèi)首臺12英寸硬軸直拉硅單晶爐成功生長出首顆12英寸硅單晶。

圖片來源：晶盛機電

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據(jù)晶盛機電官方消息，這是繼2020年8月國內(nèi)首臺8英寸硬軸直拉爐生長出8英寸硅單晶之后，又一次在半導(dǎo)體級硅單晶生長裝備上取得的重要技術(shù)進展。

晶盛機電依托兩項國家科技重大02專項課題（“300mm硅單晶直拉生長裝備的開發(fā)”和“8英寸區(qū)熔硅單晶爐國產(chǎn)設(shè)備研制”），15年專注于半導(dǎo)體硅單晶生長裝備研發(fā)，相繼開發(fā)出定拉速控徑、液位控制、定放肩、超導(dǎo)磁場拉晶等多項國際領(lǐng)先技術(shù)。

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