服務(wù)多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、全球排名前列的半導(dǎo)體公司意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics，簡稱ST；紐約證券交易所代碼:STM)日前宣布與新加坡科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME) 和愛發(fā)科 (ULVAC) 合作，共同拓展意法半導(dǎo)體在新加坡的“廠內(nèi)實驗室”(LiF)合作項目。新一期項目包括與新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡國立大學(xué) (NUS)的合作項目。

該計劃將有助于推進環(huán)保型無鉛壓電材料的應(yīng)用，為傳感器和執(zhí)行器實現(xiàn)高成本效益和微型化賦能。高等院校、初創(chuàng)企業(yè)、中小企業(yè)和跨國公司能夠利用整套生產(chǎn)線加快新型壓電微機電系統(tǒng)器件的市場轉(zhuǎn)化。生產(chǎn)的樣片預(yù)計將用于包括 3D投影和成像的壓電微機械超聲換能器，個人電子產(chǎn)品的微型揚聲器，以及用于智能手機攝像頭模塊的自動對焦裝置。

意法半導(dǎo)體模擬、功率分立器件、MEMS 和傳感器產(chǎn)品部門（APMS）副總裁及中央研發(fā)總經(jīng)理 Anton Hofmeister表示：“我們很高興能夠推進這項合作計劃，歡迎新加坡科技研究局材料研究與工程研究所和新加坡國立大學(xué)加入廠內(nèi)實驗室計劃2.0的新項目研發(fā)。這項計劃將推動壓電 MEMS 技術(shù)的創(chuàng)新，并支持下一代器件的市場轉(zhuǎn)化?！?/p>

新加坡科技研究局創(chuàng)新與企業(yè)副局長Yeo Yee Chia教授表示：“我們正在深化和拓展與重要且具備創(chuàng)新材料、工具和工藝模塊的供應(yīng)商，以及技術(shù)開發(fā)、設(shè)計和制造企業(yè)的合作關(guān)系，并在研發(fā)成果的市場轉(zhuǎn)化方式上探索創(chuàng)新。這種合作方式將加快下一代采用環(huán)保無鉛材料的節(jié)能壓電MEMS器件的市場轉(zhuǎn)化，同時鞏固新加坡在全球半導(dǎo)體價值鏈中的地位?！?/p>

愛發(fā)科設(shè)備業(yè)務(wù)總部先進電子設(shè)備部執(zhí)行官兼總經(jīng)理 Harunori Iwai 表示：“我們很榮幸能夠參與這一開創(chuàng)性的合作計劃，為壓電 MEMS 行業(yè)貢獻我們在制造技術(shù)解決方案方面積累的知識經(jīng)驗?！?/p>

廠內(nèi)實驗室計劃早已于 2020 年落地，立項的目的是開發(fā)一種通過物理氣相沉積 (PVD)方式生長鋯鈦酸鉛 (PZT)薄膜的方法。與傳統(tǒng)的體壓電技術(shù)相比，物理氣相沉積方法顯著降低了鉛含量。這項目的的成功促使了本次的深入廣泛的合作。

除壓電微電解系統(tǒng)MEMS外，新加坡的技術(shù)研發(fā)重點領(lǐng)域還包括異構(gòu)整合先進封裝；碳化硅、氮化鎵等寬帶隙半導(dǎo)體；毫米波射頻等技術(shù)；平面光學(xué)元件、光子異構(gòu)集成等先進光子技術(shù)。這些重點領(lǐng)域已列入新加坡科技研究創(chuàng)新與企業(yè)2025規(guī)劃（RIE 2025），旨在促進新加坡發(fā)展成為創(chuàng)新驅(qū)動的經(jīng)濟社會。

廠內(nèi)實驗室是新加坡半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的重要參與者，致力于促進與傳感器和執(zhí)行器公司、制造企業(yè)及其供應(yīng)商的合作，基于廠內(nèi)實驗室的先進材料和器件平臺，為國內(nèi)外高等院校提供多項目晶圓流片服務(wù)，同時還提供大學(xué)生實習(xí)和博士生研究機會，以擴大本地和全球壓電 MEMS人才儲備。

作為全球領(lǐng)先的MEMS供應(yīng)商，二十多年來，意法半導(dǎo)體在 MEMS 市場中占據(jù)著舉足輕重的地位，利用自身的垂直整合制造(IDM) 業(yè)務(wù)模式，為客戶提供芯片設(shè)計制造一條龍服務(wù)。

意法半導(dǎo)體是首批在新加坡投資建廠的半導(dǎo)體公司，而廠內(nèi)實驗室則是意法半導(dǎo)體宏茂橋園區(qū)的一項重要資產(chǎn)，完善了園區(qū)當前的大規(guī)模制造業(yè)務(wù)，并為新加坡半導(dǎo)體制造生態(tài)系統(tǒng)的發(fā)展做出了貢獻。

主要利益相關(guān)者的評價

David Horsley教授（Northeastern University電氣與計算機工程系教授）：

“廠內(nèi)實驗室模式解決了業(yè)界通常面對的應(yīng)力控制與蝕刻等常見問題，這樣，研究人員就能夠?qū)Ｗ⒂谧约旱墓ぷ鳎鵁o需做重復(fù)性的無用功?！?/p>

Fang Weileun教授（National Tsing Hua University 講座教授）：

“廠內(nèi)實驗室讓學(xué)術(shù)團體甚至初創(chuàng)企業(yè)能夠開發(fā)自己的芯片，并且更容易實現(xiàn)量產(chǎn)?！?/p>

Lu Yipeng副教授（北京大學(xué)集成電路學(xué)院副教授）：

“廠內(nèi)實驗室項目對壓電微電機MEMS技術(shù)的發(fā)展影響很大，公私科研合作讓我們能夠取得單靠自身力量無法實現(xiàn)的突破。我們很榮幸加入這個創(chuàng)新的生態(tài)系統(tǒng)?！?/p>

Shuji Tanaka教授（Tohoku University機器人系教授）：

“在開發(fā)過程中擁有更大的自由度，研發(fā)周期也更短。”