国产成人高清亚洲,日韩无码一区二区,国产精品亚洲综合专区片高清久久久,欧美日韩国产区在线观看,sese在线,亞洲綜合久久精品無碼色欲,日韩亚洲av三级片

計(jì)算光刻

加入交流群
掃碼加入
獲取工程師必備禮包
參與熱點(diǎn)資訊討論

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。

光刻工藝過程可以用光學(xué)和化學(xué)模型，借助數(shù)學(xué)公式來描述。光照射在掩模上發(fā)生衍射，衍射級(jí)被投影透鏡收集并會(huì)聚在光刻膠表面，這一成像過程是一個(gè)光學(xué)過程；投影在光刻膠上的圖像激發(fā)光化學(xué)反應(yīng)，烘烤后導(dǎo)致光刻膠局部可溶于顯影液，這是化學(xué)過程。計(jì)算光刻就是使用計(jì)算機(jī)來模擬、仿真這些光學(xué)和化學(xué)過程，從理論上探索增大光刻分辨率和工藝窗口的途徑，指導(dǎo)工藝參數(shù)的優(yōu)化。收起

查看更多
暫無相關(guān)內(nèi)容，為您推薦以下內(nèi)容

正在努力加載...

江北区| 宾川县| 内黄县| 婺源县| 临颍县| 巩义市| 岳阳县| 泌阳县| 武安市| 花垣县| 金乡县| 晋州市| 襄城县| 龙海市| 门源| 保靖县| 柯坪县| 盐边县| 佛山市| 济南市| 德令哈市| 兴宁市| 繁峙县| 栾川县| 霸州市| 浑源县| 昭平县| 汝城县| 麟游县| 陆丰市| 化州市| 上杭县| 开鲁县| 柳江县| 通州区| 诏安县| 雷波县| 罗田县| 台江县| 遵化市| 双桥区|