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lift off工藝為什么常用蒸發(fā)的方式鍍膜？
學員問：我觀察到晶圓廠中l(wèi)ift off工藝，鍍膜都是用的電子束蒸發(fā)的方式，很少有用磁控濺射的方式，為什么？

TOM聊芯片智造

1998

2024/08/13

電子束 Lift off工藝
負膠的Undercut在lift-off工藝中的應(yīng)用
?光刻工藝中負膠因為粘度偏大，和正膠相反的曝光模式，被廣泛應(yīng)用，但是負膠精度沒有正膠好，容易顯影變形，價格也普遍相對較貴。

芯片工藝技術(shù)

5153

2024/08/12

光刻技術(shù) Lift off工藝
什么是Lift off工藝？
有朋友問：Lift off工藝是什么？Lift?off工藝是晶圓廠中的常見工藝，它是制作金屬互連、導(dǎo)線和其他結(jié)構(gòu)時的一種替代光刻和蝕刻過程的方法。見下圖：

TOM聊芯片智造

5900

2024/04/07

晶圓工藝 Lift off工藝

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